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                单片晶圆气液混合流清洗技Ψ术研究

                2023-08-04 15:39:51




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                显示№器生产简述:

                显示器生产过程中在蚀刻、显影之「后都会有清洗工艺,清洗的主要目的是去除卐玻璃粉、指纹、浮油、尘埃粒子、纤维纸屑、矿物油和油脂等油垢、氧化※硅等无机颗粒、制备加工过程的残留物、水迹、手指印等,将这些▆污染物去除以生产出具有高光学性能的显↑示屏。

                清洗:

                如所使用的玻璃基板在受入前必须清洗干净,在溅镀ITO导电膜之前还需要清洗╲干净;

                在涂敷光刻胶等之前都要对玻璃基板进行清洗,将1微米以上的颗粒以及所有」的无机、有机污染物清洗干净,保证工艺达到所需要的精度要求。

                清洗会产生大量废水,在当前水资源◤日益紧缺的背景下,工业生产大多数都会采用废水回用技术。人们根据废水◆中有机物的含量,开ω 发了物理、化学、生物以及联合处理工艺用于回收废水。

                主□要清洗工艺

                湿法

                    刷洗

                    高压喷淋

                    浸泡式超声波清洗

                    流水式高频超声波清洗

                    药液喷淋

                    二流体清洗①

                    超高压微细粒子喷射清洗技术

                    功卐能水清洗技术  

                干法

                    紫外线照射清洗(UV清洗)

                    等离子体♀清洗 

                问题描述

                    清洗液中的污染物对玻璃◣基板性能造成不良Ψ 影响;

                    影响加工过」程中玻璃基板表面与使用的各种材料之间的亲和力;

                    伤害玻璃基板↓松软膜层 

                产品应用

                高纯水、超纯水、去离子水的终端过滤

                ? ? PES膜滤芯?

                 

                工艺用水△处理,或作为高〖纯水及多种模式过滤的前过滤

                 ?? PP膜滤芯?

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                高浓度【液晶废水处理研究;

                一种针对TFT-LCD清洗废液的回收工艺;

                技术支持:

                设备咨询前请完善我☆司工况调查表,以便我司工程师提供更完善的○过滤方案!

                工况调查表

                 

                常见颗粒物尺寸大小;

                常见液体粘度资料〗及数据参考表;

                常用过滤设备-流体化学适应性〖表;

                规范过滤机♂滤布的更换、使用和维护;

                过滤的基础理※论与技术进展;

                过滤的基础概念;

                过滤的种类及模式;

                过滤行ぷ业常见单位换算表;

                过滤行业术语;

                过滤■机理和形式;

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